技術(shù)編號：2326499
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。(一)、所屬領(lǐng)域本發(fā)明涉及的是一種工業(yè)機(jī)器人。具體地說是一種IC制造工藝設(shè)備中用于硅片搬運(yùn)傳輸?shù)臋C(jī)器人。(二)、背景技術(shù)在IC制造工藝流程中，從拉單晶到最后檢查的諸多關(guān)鍵制造設(shè)備中，大量使用了各種用于硅片搬運(yùn)的機(jī)器人裝備。隨著IC制造業(yè)的迅速發(fā)展，對硅片搬運(yùn)機(jī)器人的運(yùn)動速度和定位精度提出了越來越高的要求。硅片搬運(yùn)機(jī)器人的R軸和Z軸運(yùn)動是這類機(jī)器人的兩個運(yùn)動，目前都是采用串聯(lián)式聯(lián)接結(jié)構(gòu)。這種串聯(lián)結(jié)構(gòu)限制了R軸和Z軸運(yùn)動速度和定位精度的進(jìn)一步提高。(三)、發(fā)明...
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