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技術(shù)編號：2008166

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本發(fā)明涉及半導體或光電制造等高精密加工機械，特別是涉及一種結(jié)構(gòu)件的結(jié)合構(gòu)造。背景技術(shù)就半導體或光電制造等而言，高精密度是產(chǎn)業(yè)的基本要求，因此，就一般產(chǎn)業(yè)的制造、加工或檢測的機械而言，其必需具備有相應(yīng)的穩(wěn)定度與精密性，以提供產(chǎn)業(yè)所箭ο舉例而言，隨著液晶面板尺寸的擴大與半導體設(shè)備精密度的提高，機臺結(jié)構(gòu)件的需求長度穩(wěn)定性、耐磨性佳、膨脹系數(shù)低、硬度高、抗壓及抗彎強度佳等性質(zhì)被愈為重視，其中，對于抗震性佳的花崗巖或陶瓷等材料，由于其具有高阻尼、低振動、熱穩(wěn)定性佳等...
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