技術編號：1966679
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及將在液晶顯示裝置等中使用的玻璃制的基板通過處理液處理的基板 的處理裝置及處理方法。背景技術在用在液晶顯示裝置中的玻璃制的基板上形成電路圖案。為了在基板上形成電路 圖案而采用光刻工藝。光刻工藝如周知那樣在上述基板上涂布抗蝕劑，對該抗蝕劑經(jīng)由形 成有電路圖案的掩模照射光。接著，通過反復進行多次將抗蝕劑的沒有被照射光的部分或照射了光的部分除 去、將除去了基板的抗蝕劑的部分蝕刻等的一系列的工序，在上述基板上形成電路圖案。在這樣的光刻工藝中，需要對上述基板...
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