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技術(shù)編號：1944266

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本發(fā)明涉及一 種，所述熔融石 英玻璃的紫外線、可見光、紅外線的透射率高、高純度且耐熱性高、Cu等金屬雜質(zhì)的擴散速度小。本發(fā)明的熔融石英玻璃可以用作各種光學(xué)材料、半導(dǎo)體制 造用部件、液晶制造用部件、MEMS ( Micro Electro Mechanical Systems,樣￡電子機械系統(tǒng))制造用部件、液晶用玻璃基板等。 尤其適合用作在半導(dǎo)體熱處理工序或CVD工序中使用的芯管 (core pipe )。背景技術(shù)在各種光學(xué)材料、半導(dǎo)體制造用部件、液晶制造用...
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