技術(shù)編號(hào)：1899309
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種不使用夾具也能夠?qū)ΣＡЩ鍖?shí)施化學(xué)研磨處理的單片式化學(xué)研磨裝置。化學(xué)研磨裝置(10)至少具備第1研磨處理部(4)、第2研磨處理部(2)與洗滌部(70)。第1研磨處理部(4)構(gòu)成為對(duì)沿著搬送通路被搬送的玻璃基板(100)使用第1處理液進(jìn)行化學(xué)研磨處理。所述第2研磨處理部(2)構(gòu)成為對(duì)沿著搬送通路被搬送的玻璃基板(100)使用與所述第1處理液不同的第2處理液進(jìn)行化學(xué)研磨處理。洗滌部(70)構(gòu)成為配置于搬送通路的第1研磨處理部(4)的下游側(cè)且第2研...
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