技術(shù)編號:1847371
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種石英玻璃坩堝,特別是在提拉法生產(chǎn)單晶硅中使用的石英玻璃坩堝,以及所述石英玻璃坩堝的制備方法。背景技術(shù)石英坩堝作為直拉單晶硅過程中盛放多晶硅料的容器被廣泛采用,因此石英坩堝作為與單晶硅料直接接觸的物體,決定了單晶硅能否順利生產(chǎn)的關(guān)鍵因素。其中在直拉法生產(chǎn)單晶硅過程中,造成拉晶失敗的一個主要原因,就是在石英玻璃坩堝內(nèi)表面上形成的方石英脫落后進(jìn)入熔融的硅熔體當(dāng)中造成的。目前,解決此問題的方法中,多采用含有堿土金屬的結(jié)晶促進(jìn)劑涂覆到坩堝內(nèi)表面上,以在...
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