技術(shù)編號(hào):1832528
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及電子器件制造,尤其是使用電子束在基底上固化油墨的裝置和方法。背景技術(shù) 平板顯示器的各像素通常包括充填以紅色、綠色或藍(lán)色油墨的亞像素(盡管其它的顏色可以被使用)。可以使用一系列光刻步驟制造這些亞像素。例如,可以在基底上沉積光致抗腐蝕層并構(gòu)圖以斷開(kāi)所有的將要沉積紅色油墨的亞像素區(qū)。其后,可以將紅色油墨沉積在全部基底上,這樣斷開(kāi)的亞像素區(qū)被充填以紅色油墨。油墨可以被固化,通常使用紫外線的方法,以及可以除去沉積光致抗腐蝕層,這樣僅有紅色油墨填充的亞像素區(qū)...
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