技術(shù)編號：1813300
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種通過表面精制來提高SiC加熱芯棒質(zhì)量的方法。在主要使用溫度下經(jīng)一定時間之后，因為SiC加熱芯棒的主要組分-SiC被氧化為SiO2(α-尖晶石)，并因此提高加熱芯棒的電阻，所以不能再使用該SiC加熱芯棒。SiC加熱芯棒的質(zhì)量由在主要使用溫度下芯棒可以使用的時間長短來決定。為了制備質(zhì)量好的SiC加熱芯棒，提高SiC的純度至98％以上，并且研制出具有最低孔隙率的密實SiC加熱芯棒的制備方法。同樣研制出一種表面精制方法以保護芯棒表面。目前已研制出的表...
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