技術(shù)編號(hào):1555730
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種使用超聲波的清洗設(shè)備,更具體地,涉及一種使用超聲波從晶片上分離污染物的清洗設(shè)備,該設(shè)備包括其中容納有振動(dòng)器的殼體;以及桿,該桿連接到所述振動(dòng)器的表面,以使由所述振動(dòng)器產(chǎn)生的超聲波傳播到施加在所述晶片的上表面上的清洗溶液。所述振動(dòng)器包括結(jié)合到擴(kuò)散層的壓電裝置,所述擴(kuò)散層包括近場(chǎng)區(qū)域(near-field region)和遠(yuǎn)場(chǎng)區(qū)域(far-field region),所述桿具有直徑減小部分,以放大由所述振動(dòng)器產(chǎn)生的超聲波,從而有效地去除需要清洗的...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。