技術(shù)編號(hào)：1549587
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種沖洗機(jī)構(gòu)，特別涉及一種硅片的沖洗機(jī)構(gòu)，屬于硅片加工的技術(shù) 領(lǐng)域。背景技術(shù)由于硅片體積小，厚度薄，因此，硅片之間極易產(chǎn)生靜電。將硅片從盒子內(nèi)倒出時(shí)， 由于靜電作用，常常有硅片粘貼在盒子內(nèi)，造成硅片的浪費(fèi)。傳統(tǒng)的方法是采用吹風(fēng)機(jī)將這 些貼在盒子內(nèi)的硅片吹出，該方法雖可取出硅片，但操作不方便，且硅片吹出后容易到處亂 飛。不易收集。為了解決上述技術(shù)問題，近來，出現(xiàn)了一種硅片氣流沖洗裝置，包括盒體、封閉空 腔、氣流通道及氣源，盒體與氣流通道相對(duì)的設(shè)置在...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。