技術(shù)編號(hào)：14974
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。專(zhuān)利摘要本公開(kāi)提供了一種微機(jī)電器件、微機(jī)電麥克風(fēng)和電子系統(tǒng)。一種微機(jī)電器件包括襯底；鍵合至襯底并且并入微結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體裸片；位于裸片和襯底之間的粘合膜層；以及位于裸片和膜粘合層之間的保護(hù)層。該保護(hù)層有開(kāi)口，并且粘合膜層透過(guò)這些開(kāi)口粘合至保護(hù)層。專(zhuān)利說(shuō)明微機(jī)電器件、微機(jī)電麥克風(fēng)和電子系統(tǒng) 技術(shù)領(lǐng)域 [0001 ] 本公開(kāi)涉及具有對(duì)鍵合進(jìn)行保護(hù)的微機(jī)電器件、微機(jī)電麥克風(fēng)和電子系統(tǒng)。 背景技術(shù) [0002]眾所周知，近年來(lái)已經(jīng)研發(fā)用于在傳感器(加速度計(jì)、陀螺儀、壓力傳感器)領(lǐng)域和機(jī)械和流體致動(dòng)(微電機(jī)、微泵)領(lǐng)域中...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。