技術(shù)編號(hào)：1494352
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微小氣泡生成裝置、微小氣泡生成方法及基板處理裝置，涉及 如生成含^f效小氣泡的洗滌用液體的微小氣泡生成裝置及微小氣泡生成方法、 使用含微小氣泡的洗滌用液體來處理基板的基板處理裝置。 背景技術(shù)作為一例，基板處理裝置在基板制造工序中，對(duì)基板提供純水和藥液等液 體進(jìn)行處理。這種基板處理裝置中，需要除去基板上粘附的微粒和液體中浮 游的微粒。為了除去基板的4敖粒，專利文獻(xiàn)l中提出了以下方案將微米氣泡發(fā)生部 與基板處理裝置連接，從微小氣泡發(fā)生，向處理槽內(nèi)的基...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。