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一種掩膜版清潔裝置及其清潔方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:1458398

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本發(fā)明實施例提供,涉及顯示,能夠在不增加污染介質(zhì),不損傷掩膜版表面的情況下,解決掩膜版污染的問題。在清潔時間內(nèi),將干冰顆粒群以340m/s~1000m/s的速度朝著所述掩膜版的表面進行噴射,所述干冰顆粒群中的干冰顆粒對所述掩膜版的表面進行撞擊。專利說明 [0001]本發(fā)明涉及顯示,尤其涉及。 背景技術(shù) [0002]隨著顯示技術(shù)的急速進步,作為顯示裝置核心的半導體元件技術(shù)也隨之得到了飛躍性的進步。對于現(xiàn)有的顯示裝置而言,有機發(fā)光二極管(Organi...
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