技術(shù)編號(hào):1363527
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種物理光學(xué)的潔凈度保持裝置,具體是涉及一種用于保持大口徑光學(xué)元件表面潔凈的沖掃裝置。背景技術(shù)在激光傳輸光學(xué)組件的內(nèi)部安裝有許多具有不同功能的各種大口徑的光學(xué)元件,在激光通過(guò)大口徑光學(xué)元件的過(guò)程中,在這些光學(xué)元件的表面上的微小顆粒污染和有機(jī)物污染對(duì)激光的傳輸都會(huì)產(chǎn)生巨大的影響。通過(guò)對(duì)光學(xué)組件內(nèi)腔進(jìn)行沖掃可以有效提高潔凈度,但是由于激光通過(guò)光學(xué)元件時(shí)會(huì)產(chǎn)生氣溶膠,污染光學(xué)元件表面,因此光學(xué)元件表面需要進(jìn)一步的清理。目前還沒(méi)有合適的裝置來(lái)實(shí)現(xiàn)保持激光...
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