技術編號：1362675
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明總體上涉及除去聚合物涂層的方法，以及具體涉及用常壓等離子體放電將聚合物涂層從涂覆基材上除去。 背景技術 術語“等離子體”一般描述為包含離子、電子和中性物種的部分電離氣體。等離子體可以通過能量輸入如經(jīng)由化學方法的能量輸入、非常高的溫度、強的恒定電場以及特別是射頻(RF)電磁場的作用來產(chǎn)生。等離子體已經(jīng)廣泛用于眾多的工業(yè)和高技術應用中，例如包括半導體制造、各種表面改性、以及窗口面板和光盤用反射膜的涂覆。從高真空(＜0.1毫乇)至若干乇的壓力范圍內(nèi)的等離子...
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