技術(shù)編號：1346422
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明有關(guān)一種紫外線清洗裝置，尤其是有關(guān)一種利用紫外線及由紫外線照射空氣產(chǎn)生的臭氧進(jìn)行清洗的紫外線清洗裝置。背景技術(shù) 一般地，需要提高成品率的半導(dǎo)體器件、液晶顯示元件、光學(xué)制品的制造中，需要對其表面進(jìn)行清洗以去除工件表面的污漬及改善其表面的接著性、附著性。傳統(tǒng)的技術(shù)使用濕法清洗，在工作的表面施以藥液使其與工作表面的污漬發(fā)生反應(yīng)，在這樣的傳統(tǒng)工藝下，在其反應(yīng)后需要對工作表面的藥液殘留物進(jìn)行清洗。在清洗的過程中會產(chǎn)生新的污染。在此基礎(chǔ)上產(chǎn)生了干法光表面的處理技...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。