技術(shù)編號：12880578
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種在真空氛圍下對涂覆有藥液的基板進行加熱而使其干燥的基板加熱干燥裝置，具體而言，涉及一種如下的基板加熱干燥裝置：在對基板涂覆藥液并使其干燥的過程中，從根源上去除基板上的斑點的發(fā)生，從而防止工藝不良。背景技術(shù)通常，用于平板顯示裝置的基板經(jīng)過多個步驟的加工工序和這些加工工序之間的洗滌及干燥工序。如上所述，在經(jīng)過基板的加工步驟之后進行洗滌，之后進行基板干燥工序，而這種基板加熱工序在如下的基板加熱干燥裝置中執(zhí)行，在配備有加熱板的腔室內(nèi)放入基板而使其干燥。在現(xiàn)有的基板加熱干燥裝置中，如果在...
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