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樣品位置對(duì)準(zhǔn)方法和帶電粒子束裝置與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12820453

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本發(fā)明涉及樣品位置對(duì)準(zhǔn)方法和帶電粒子束裝置。背景技術(shù)帶電粒子束是指離子束和電子束的總稱。將能夠利用聚焦后的帶電粒子束來(lái)進(jìn)行加工、觀察和分析的至少任一個(gè)(以下,稱為觀察等)的裝置稱為帶電粒子束裝置。該帶電粒子束裝置裝載有形成離子束的離子束鏡筒和形成電子束的電子束鏡筒之中的至少任一個(gè)。帶電粒子束裝置也包含裝載有多個(gè)鏡筒的復(fù)合裝置。在帶電粒子束裝置中,在通過(guò)帶電粒子束對(duì)樣品進(jìn)行觀察等之前,需要將樣品中的觀察等的對(duì)象部位(以下,僅稱為觀察對(duì)象部位)配置在利用帶電粒子束的觀察視場(chǎng)范圍內(nèi)。例如,在專利文獻(xiàn)1...
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