技術(shù)編號(hào)：12806901
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種薄膜晶體管及其制作方法。背景技術(shù)薄膜晶體管顯示器是目前使用比較廣泛的顯示器，其中，薄膜晶體管是開啟和關(guān)閉像素的電子轉(zhuǎn)化裝置，通過在玻璃基底上沉積薄膜，從而形成電子回路來控制顯示器中的像素。常用薄膜晶體管的結(jié)構(gòu)中，包含有三端，即源極、漏極和柵極，通過利用施加在柵極的電壓來控制源、漏極間的電壓。在薄膜晶體管中通常使用鋁作為電極材料，但是鋁互連線的抗電遷移能力較差，且鋁的電阻率也較大(約為2.66uΩ·cm)，因此在制作鋁線時(shí)，鋁線的寬度不能太小，否則會(huì)容易導(dǎo)致R...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。