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樹(shù)脂膜形成用片材的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12796934

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本發(fā)明涉及一種樹(shù)脂膜形成用片材,其可效率良好地形成對(duì)芯片的粘接強(qiáng)度高的樹(shù)脂膜,且可制造可靠性高的半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù)以大徑的狀態(tài)制造的半導(dǎo)體晶圓在切斷分離(切割)成元件小片(半導(dǎo)體芯片)之后,有時(shí)移至下一工序的鍵合工序。此時(shí),半導(dǎo)體晶圓是以預(yù)先粘著于粘接片的狀態(tài)加以切割、清洗、干燥、擴(kuò)張及拾取的各工序之后,移送至下一工序的鍵合(bonding)工序。在這些工序之中,為簡(jiǎn)化拾取工序及鍵合工序的工藝,提出了各種可同時(shí)兼具晶圓固定功能與管芯鍵合功能的切割·管芯鍵合用粘接片。例如,通過(guò)使用所述粘接片,可...
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