技術編號：12749574
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及顯示器制造技術領域，特別涉及一種低溫多晶硅薄膜的制備方法及半導體結構。背景技術目前，常用的主動式陣列液晶顯示器多采用非晶硅薄膜晶體管和多晶硅薄膜晶體管。其中，多晶硅薄膜晶體管(ThinFilmTransistor，簡稱TFT)由于具有較高的電子遷移率、開口率高、較快的響應速度、能大幅縮小組件尺寸、分辨率高、可以制作集成化驅動電路等優(yōu)點，更加適合于大容量的高頻顯示，有利于提高顯示器的成品率和降低生產(chǎn)成本，而得到廣泛的應用。制作低溫多晶硅薄膜常用準分子激光退火方法，該方法的基本原理為利用高...
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