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一種基于動態(tài)耦合效應(yīng)的半導(dǎo)體光電傳感器及其制備方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12725247

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種半導(dǎo)體光電傳感器及其制備方法。背景技術(shù)光電傳感器的應(yīng)用非常廣泛,在民用,軍用以及科研等領(lǐng)域都至關(guān)重要。根據(jù)其用途和敏感波長不同,又可分為多種類型。其基本原理大體類似,即光子通過具有特定禁帶寬度的半導(dǎo)體材料時會激發(fā)出自由電子,而通過檢測這些電子的濃度即可得提取出光的強度。目前通用的光電傳感器大體分為兩類,一類是使用電容式,如常用的CCD傳感器[1],而另外一類是基于反向p-n,如CMOS傳感器[2]。對于CCD傳感器,光產(chǎn)生的電子被電容極板所收集,之后通過...
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