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技術(shù)編號(hào)：12725240

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體元件及其制造方法，且特別是涉及一種具有肋條結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體元件及其制造方法。背景技術(shù)扇出晶片等級(jí)封裝(Fan-outWaferlevelPackage,FOWLP)為近年全球封裝大廠投入大量資源開(kāi)發(fā)的主軸技術(shù)。然而，此封裝常面臨模封后晶片(moldedwafer)管芯移位(dieshift)和翹曲變形(warpage)的問(wèn)題。較大的管芯位移會(huì)影響重布層(redistributionlayer,RDL)在產(chǎn)量制作工藝中與管芯上的電極(diepad)的對(duì)位。此外，進(jìn)行封裝時(shí)的各種設(shè)備...
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