技術(shù)編號：12694620
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。用于化學(xué)機(jī)械拋光的漿料組合物、其制法、拋光方法、制造半導(dǎo)體器件的方法和拋光設(shè)備相關(guān)申請的交叉引用本申請要求2015年10月15日在韓國知識產(chǎn)權(quán)局提交的韓國專利申請No.10-2015-0144315的權(quán)益，其公開內(nèi)容全部引入本文中作為參考。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明構(gòu)思的示例實施方式涉及用于化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝的漿料組合物、制備所述漿料組合物的方法、和使用所述漿料組合物的拋光方法，并且更特別地涉及用于CMP工藝的漿料組合物、制造所述漿料組合物的方法、和使用所述漿料組合物的拋光方法，通過所述漿料組合物可...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。