技術(shù)編號:12686105
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及催化劑活化技術(shù)領(lǐng)域,具體而言,涉及一種制備三氯氫硅的樹脂催化劑的活化方法。背景技術(shù)多晶硅生產(chǎn)工藝主要以三氯氫硅為原料,生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的高沸副產(chǎn)物氯硅烷,其中氯硅烷中主要包括四氯化硅、二氯二氫硅和少量的雜質(zhì)BCl3,目前將多晶硅生產(chǎn)中四氯化硅和二氯二氫硅在催化劑的作用下轉(zhuǎn)化為多晶硅生產(chǎn)的中間原料三氯氫硅,有效處理四氯化硅和二氯二氫硅,提高了硅元素的利用率,降低了生產(chǎn)成本。由于BCl3的存在降低了催化劑的活性,從而影響制備三氯氫硅的穩(wěn)定性和轉(zhuǎn)化率?,F(xiàn)有技術(shù)中恢復(fù)催化劑活性的方法,一般采用直...
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