技術(shù)編號(hào)：12680910
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種應(yīng)用于可重構(gòu)全息天線的Ge基等離子pin二極管的制備方法。背景技術(shù)天線的性能直對(duì)無(wú)線通信系統(tǒng)有重要影響，其中，可重構(gòu)天線和全息天線因?yàn)閼?yīng)用范圍，或在特定的范圍內(nèi)有突出的優(yōu)點(diǎn)而受到很多研究人員的關(guān)注。等離子體天線是一種將等離子體作為電磁輻射導(dǎo)向媒質(zhì)的射頻天線，它可通過(guò)改變等離子體密度來(lái)改變天線的瞬時(shí)帶寬，且具有大的動(dòng)態(tài)范圍；還可以通過(guò)改變等離子體諧振、阻抗以及密度等，調(diào)整天線的頻率、波束寬度、功率、增益和方向性動(dòng)態(tài)參數(shù)，極大地引起了國(guó)內(nèi)外研究人員的關(guān)注...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。