技術(shù)編號(hào)：12657280
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是一種基于MEMS終端式微波功率傳感器結(jié)構(gòu)的濕度傳感器，屬于微電子器件技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)濕度傳感器廣泛應(yīng)用于氣象檢測(cè)、農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、工業(yè)控制、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域。近年來(lái)，濕度傳感器的發(fā)展越來(lái)越趨向于微型化?，F(xiàn)有的微型濕度傳感器類型主要包括電容式、電阻式、壓阻式及MEMS等。聚酰亞胺與CMOS工藝兼容且具有良好的感濕特性，因此常被用做濕度傳感器的敏感材料。近年來(lái)，我國(guó)物聯(lián)網(wǎng)取得了長(zhǎng)足發(fā)展，而傳感器作為物聯(lián)網(wǎng)中的必要組成部分，也必將得到進(jìn)一步推廣和應(yīng)用，在這樣的形勢(shì)下，開(kāi)展?jié)穸葌鞲衅鳟a(chǎn)業(yè)化方面的工作是...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。