技術(shù)編號：12629515
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及微機電麥克風。背景技術(shù)已知微機電麥克風，其包括第一芯片(結(jié)合有微機電電聲薄膜換能器)和第二芯片(結(jié)合有控制電路或ASIC(專用集成電路))。電聲換能器將進入的聲波(引起薄膜的振動)轉(zhuǎn)換為電信號。例如，薄膜可以電容性地耦合至參考電極。薄膜的變形改變電容耦合，這可以容易地利用電荷放大器電路來檢測?？刂齐娐钒ㄐ盘柼幚砑?例如，電荷放大器電路)和能夠適當操作微機電麥克風1(具體地，聲信號的轉(zhuǎn)換)所需的部件。第一芯片和第二芯片容納在電子器件的相同封裝結(jié)構(gòu)內(nèi)，其中電子器件通常包括支持襯底和塑料或...
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