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微型光纖光柵光譜儀的制作方法與工藝技術資料下載

技術編號:12589563

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本發(fā)明屬于光譜測量儀器領域,涉及微型光纖光柵光譜儀。技術背景隨著MEMS、微光學等微制造技術的發(fā)展,光譜儀器的微型化成為可能,光譜儀的微型化是光譜儀器的一個重要發(fā)展方向。和傳統(tǒng)光譜儀相比,微型光譜儀由于它體較小、價格便宜等優(yōu)點廣泛應用于許多測量、控制領域。光纖具有損耗低、傳輸頻帶寬、容量大、體積小、重量輕等特點而備受業(yè)內人士青睞,發(fā)展非常迅速。光纖的快速發(fā)展使得光譜儀的發(fā)展快速崛起,使用光纖可以縮小和減輕整個光譜儀的體積和重量傳統(tǒng)的光譜儀光學系統(tǒng)結構復雜,體積較大,需通過旋轉光柵對整個光譜進行掃...
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