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一種大口徑光學(xué)元件雙面拋光機的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12555063

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本發(fā)明屬于光學(xué)元件加工技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種大口徑光學(xué)元件雙面拋光機。背景技術(shù)隨著現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)的發(fā)展,特別是高功率激光裝置的迅速發(fā)展對大口徑光學(xué)元件加工提出了更高的要求。除了對面形精度、平行度、生產(chǎn)周期和生產(chǎn)成本有嚴(yán)格的要求外,光學(xué)表面小尺寸制造誤差也越來越受到人們關(guān)注。光學(xué)表面小尺寸制造誤差可導(dǎo)致光束的高頻調(diào)制與系統(tǒng)的非線性增長,易造成光學(xué)元件損傷和降低光束可聚焦功率。目前國內(nèi)外的大型環(huán)拋機采用單面拋光的方式,加工精度依賴于操作人員的經(jīng)驗,對操作人員要求高,并且在加工具有透射波前的光學(xué)元件時,...
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