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一種半導(dǎo)體芯片的制作方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12479133

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體LED領(lǐng)域,特別地,涉及一種能提高半導(dǎo)體芯片發(fā)光亮度的芯片制作方法。背景技術(shù)相較于內(nèi)量子效率而言,GaN基LED的外量子效率和光提取效率還有待進(jìn)一步的技術(shù)突破來取得提高。光提取效率和外量子效率在本質(zhì)上是一致的,而造成GaN基LED外量子效率和光提取效率較低的原因主要包括晶格缺陷對(duì)光的吸收、襯底對(duì)光的吸收以及光在射出過程中的全反射、材料層中的波導(dǎo)效應(yīng)等。由目前的研究可知,影響光子逸出主要有以下原因:1、大部分光子在半導(dǎo)體與外部界面上由于全反射而回到半導(dǎo)體內(nèi)部,全反射光被活性層自身、...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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