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一種同時(shí)表征微納米成像測(cè)量?jī)x器多種性能的方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12443920

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本發(fā)明涉及納米技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及微納米成像測(cè)量?jī)x器技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種基于特殊設(shè)計(jì)加工的參考樣塊結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)微納米成像測(cè)量?jī)x器的分辨力、xyz尺寸測(cè)量精度、時(shí)間穩(wěn)定性等多種儀器性能的同時(shí)校準(zhǔn)表征的方法。背景技術(shù)微納米成像測(cè)量?jī)x器,如掃描激光共焦顯微鏡、激光干涉顯微鏡、掃描探針顯微鏡等,在定量形貌結(jié)構(gòu)測(cè)量應(yīng)用中通常需要進(jìn)行分辨力、xyz尺寸測(cè)量精度、長(zhǎng)時(shí)間應(yīng)用穩(wěn)定性等儀器性能的校準(zhǔn)標(biāo)定。此類儀器性能的測(cè)試多采用具有確定特性值的參考樣塊結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)施。然而,現(xiàn)有的微納米參考樣塊結(jié)構(gòu)多為用于xy尺寸/節(jié)距...
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