欧美在线观看视频网站,亚洲熟妇色自偷自拍另类,啪啪伊人网,中文字幕第13亚洲另类,中文成人久久久久影院免费观看 ,精品人妻人人做人人爽,亚洲a视频

套準(zhǔn)精度量測(cè)圖形結(jié)構(gòu)的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12405014

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,更具體地說(shuō),本實(shí)用新型涉及一種套準(zhǔn)精度量測(cè)圖形結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)現(xiàn),半導(dǎo)體的特征尺寸(CD)越來(lái)越小,層與層之間的對(duì)準(zhǔn)精度越來(lái)越高。在半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)中,大部分光刻層次用于量測(cè)層與層之間套準(zhǔn)精度的圖形(Overlaymark,簡(jiǎn)稱套準(zhǔn)精度量測(cè)圖形)是兩個(gè)由四條不連續(xù)的凸出長(zhǎng)線(Line)組成的相互嵌套(barinbar)的正方形,外框的正方形是前一層(被對(duì)準(zhǔn)層)的標(biāo)記(mark),內(nèi)框的正方形是本層(對(duì)準(zhǔn)層)的標(biāo)記。兩個(gè)正方形的中心位置的差異就是套準(zhǔn)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家,請(qǐng)聯(lián)系客服
  • 孫老師:1.機(jī)機(jī)器人技術(shù) 2.機(jī)器視覺(jué) 3.網(wǎng)絡(luò)控制系統(tǒng)
  • 楊老師:物理電子學(xué)
淮北市| 东方市| 陆良县| 健康| 大洼县| 贵溪市| 阿拉善左旗| 丰县| 富蕴县| 海原县| 正蓝旗| 金乡县| 和林格尔县| 大邑县| 镇巴县| 成都市| 思茅市| 亳州市| 北辰区| 华坪县| 望城县| 天峻县| 霍山县| 田东县| 海盐县| 离岛区| 涞源县| 浪卡子县| 广宁县| 资阳市| 青龙| 深水埗区| 宣威市| 调兵山市| 孝义市| 石家庄市| 平度市| 上林县| 惠水县| 红原县| 桦川县|