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半導(dǎo)體器件及其制備方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12369996

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種半導(dǎo)體器件及其制備方法。背景技術(shù)閃存以其便捷、存儲(chǔ)密度高、可靠性好等優(yōu)點(diǎn)成為非揮發(fā)性存儲(chǔ)器中研究的熱點(diǎn)。從二十世紀(jì)八十年代第一個(gè)閃存產(chǎn)品問(wèn)世以來(lái),隨著技術(shù)的發(fā)展和各類(lèi)電子產(chǎn)品對(duì)存儲(chǔ)的需求,閃存被廣泛用于手機(jī)、筆記本、掌上電腦和u盤(pán)等移動(dòng)和通訊設(shè)備中,閃存為一種非易變性存儲(chǔ)器,其運(yùn)作原理是通過(guò)改變晶體管或存儲(chǔ)單元的臨界電壓來(lái)控制門(mén)極通道的開(kāi)關(guān)以達(dá)到存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的目的,使存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的數(shù)據(jù)不會(huì)因電源中斷而消失,而閃存為電可擦除且可編程的只讀存儲(chǔ)器的一種特殊結(jié)...
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