技術(shù)編號(hào)：12360405
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種TFT-LCD制造工藝中的雙面刻蝕方法技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及微電子加工領(lǐng)域，具體而言，涉及一種TFT-LCD制造工藝中的雙面刻蝕方法。背景技術(shù)目前，在平板顯示(FlatPanelDisplay，簡(jiǎn)稱FPD)技術(shù)中，由于液晶顯示器(LiquidCrystalDisplay，簡(jiǎn)稱LCD)具有輕薄短小，節(jié)省擺放空間等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)逐漸取代陰極射線管(CathodeRayTube，簡(jiǎn)稱CRT)，成為主流的顯示器。在各種類型的LCD中，薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管液晶顯示器(ThinFilmTransistor-Liqu...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。