技術(shù)編號(hào)：12288724
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及利用置換液置換基板上的處理液的基板處理裝置、基板處理方法以及記錄有基板處理程序的計(jì)算機(jī)可讀取的記錄介質(zhì)。背景技術(shù)以往以來，在制造半導(dǎo)體零部件、平板顯示器等之際，使用基板處理裝置來對(duì)半導(dǎo)體晶圓、液晶基板等基板實(shí)施了清洗、蝕刻等各種液處理。例如在進(jìn)行基板的清洗的基板處理裝置中，朝向旋轉(zhuǎn)的基板供給清洗用的化學(xué)溶液，利用化學(xué)溶液對(duì)基板的表面進(jìn)行清洗處理。之后，向基板的中央部供給沖洗液，利用沖洗液對(duì)基板的表面進(jìn)行沖洗處理。在該沖洗處理中，將用于對(duì)基板的表面進(jìn)行沖洗處理的處理液(例如純水)向基板供...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。