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一種流體壓力傳感器的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12266304

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本發(fā)明涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域,更具體的涉及一種流體壓力傳感器。背景技術(shù)流體壓力傳感器是一種將流體所受壓力轉(zhuǎn)化為電壓或者電流信號(hào)的變換器,涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)等諸多學(xué)科領(lǐng)域。傳統(tǒng)流體壓力傳感器所測(cè)的壓力大小是利用應(yīng)變片的阻值變化從而改變了電信號(hào)來(lái)檢測(cè)的。傳統(tǒng)的硅壓阻式壓力傳感器,它的特點(diǎn)是將電阻排列在硅膜的外部,直接和檢測(cè)環(huán)境相接觸,使得檢測(cè)環(huán)境所帶來(lái)的腐蝕流體,或是環(huán)境中的粉塵污染,都會(huì)對(duì)壓力傳感器的正常工作帶來(lái)負(fù)面的影響,這樣不論是壓力傳感器的元件性能還是其使用壽命都會(huì)大大減少。綜...
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