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本實(shí)用新型涉及回收裝置，具體是一種用于回收利用硅片切割廢砂漿中固體硅渣的裝置。背景技術(shù)硅材料線切割廢砂漿(簡(jiǎn)稱硅切割廢砂漿)是在硅晶片材的加工過(guò)程中對(duì)高純度的單晶硅和多晶硅胚料進(jìn)行線切割過(guò)程中產(chǎn)生的一種廢料，主要來(lái)自集成電路用基板和太陽(yáng)能電池基板的多線切割和打磨拋光過(guò)程中；目前回收PEG的一般是先采用過(guò)濾或離心分離將料漿進(jìn)行固液分離，然后將得到的液體進(jìn)行脫水或蒸餾，即可得到PEG；回收SiC的方法一般是將固液分離得到的固體進(jìn)行酸洗除鐵、堿溶除硅(Si)，然后經(jīng)干燥后氣流分級(jí)得到SiC微粉，但是在...
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