技術(shù)編號(hào)：12214455
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及到單晶硅拋光片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體的說是一種拋光機(jī)壓頭純水沖洗裝置。背景技術(shù)單晶硅拋光片是IC行業(yè)的基礎(chǔ)材料，而拋光機(jī)是生產(chǎn)拋光片不可或缺的主要設(shè)備之一。其中由日本FUJIKOSHI公司生產(chǎn)的SPM-19型拋光機(jī)在目前國內(nèi)的單晶硅拋光片制造廠商中得到廣泛使用。該型拋光機(jī)采用化學(xué)機(jī)械拋光方式實(shí)現(xiàn)對(duì)單晶硅片表面的拋光處理，拋光生產(chǎn)過程主要分為兩個(gè)階段：拋光液拋光階段和純水拋光階段。拋光時(shí)，拋光液或者純水通過主轉(zhuǎn)盤中心供液口向旋轉(zhuǎn)的主轉(zhuǎn)盤持續(xù)供應(yīng)拋光液或者純水，四個(gè)壓頭把裝有硅片的陶瓷盤壓...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。