技術(shù)編號：12198393
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及微機電系統(tǒng)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種微機電系統(tǒng)電容器極板及硅電容麥克風(fēng)。背景技術(shù)微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-MechanicalSystem，MEMS)，也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在半導(dǎo)體制造技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，其中MEMS電容器為典型的MEMS器件，而硅電容麥克風(fēng)又是MEMS電容器的代表。現(xiàn)有技術(shù)中，硅電容麥克風(fēng)的制程需要經(jīng)過釋放步驟，即通過刻蝕等方式去掉部分MEMS結(jié)構(gòu)的犧牲層，使得硅電容麥克風(fēng)的背極板懸空，該過程通常需要在所述背極板上設(shè)置通孔，并且...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。