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一種掩膜板存儲盒的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12174942

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本實用新型涉及液晶顯示器制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種掩膜板存儲盒。背景技術(shù)在半導(dǎo)體制造或液晶面板生產(chǎn)領(lǐng)域中,陣列工序中的光刻工藝的曝光過程需要采用掩膜板(也就是常說的“MASK”)對基板進行曝光,掩膜板一般存放在存儲盒中,使用時,需要將掩膜板從存儲盒中取出放置在掩膜板工作臺,才能進行后續(xù)的曝光過程。而現(xiàn)有技術(shù)中的存儲盒,如圖1所示,其包括盒體1,所述盒體1的頂面開設(shè)有用于容置掩膜板100的容置倉2,所述容置倉2的兩側(cè)對稱開設(shè)有夾持槽3,在放置掩膜板100時,如圖2所示,當將掩膜板100向存儲盒1中...
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