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金屬納米顆粒-絕緣體復(fù)合材料光柵耦合器的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12120540

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:本發(fā)明屬于納米光子學(xué)技術(shù)領(lǐng)域,涉及可見和/或近紅外波段光柵耦合器的制備技術(shù),具體地說是涉及一種工作于可見和/或近紅外波段的金屬納米顆粒-絕緣體復(fù)合材料光柵耦合器及其制備方法。背景技術(shù):光柵耦合器在集成光學(xué)器件和大規(guī)模集成光路的構(gòu)建過程中具有重要作用,利用光柵耦合器,可以將可見和/或近紅外波段的光信號(hào)有效地引入或引出光學(xué)平面波導(dǎo),從而實(shí)現(xiàn)光信號(hào)的定向傳輸以及后續(xù)處理。光柵耦合器是耦合光柵與平面波導(dǎo)的一個(gè)集成,根據(jù)耦合光柵所基于的材料,可以將現(xiàn)有的光柵耦合器劃分為兩類,即絕緣體光柵耦合器和金屬光柵...
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