技術編號:12116813
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及光學測量領域,具體涉及一種旋轉軸對稱曲面面形誤差測量裝置及測量方法。背景技術在光學系統(tǒng)中的透鏡及反射鏡,曲面形式多數為平面和球面,原因是這些簡單形式的曲面加工、檢測容易,能夠做到批量化生產,也容易達到高精度的面形要求,尤其是各種高精度面形檢測干涉儀的出現大大降低了高精度平面和球面面形檢測的難度。與此同時,非球面獨特的光學特性引起人們的重視,并逐漸取代球面和平面的地位,在光學系統(tǒng)中扮演越來越重要的角色。其中,圓柱面是一種特殊的非球面,其子午面和弧矢面的光焦度不同,在科研領域中被廣泛應用在...
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