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一種沉降器排放液中氯硅烷的回收裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12099752

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本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)工藝技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種沉降器排放液中氯硅烷的回收裝置。背景技術(shù)改良西門(mén)子法是幾大多晶硅生產(chǎn)工藝中市場(chǎng)占有份額最大的工藝技術(shù),其工藝流程中三氯氫硅的生產(chǎn)一般使用的是冷氫化方法,高純氫氣、冶金級(jí)硅粉以及四氯化硅在氫化反應(yīng)爐內(nèi)生成三氯氫硅,由于這一化學(xué)反應(yīng)不能完全進(jìn)行,同時(shí)由于硅粉中存在其他金屬雜質(zhì),使得生成的三氯氫硅中含有未反應(yīng)的硅粉、四氯化硅、產(chǎn)生的金屬氯化物等雜質(zhì),這些雜質(zhì)需要在后續(xù)工序中進(jìn)一步去除,其中金屬氯化物大部分由沉降器底部排出,再由管道輸送至洗滌塔清洗中和后...
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