技術(shù)編號(hào)：12066085
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光電子領(lǐng)域，特別是涉及一種金剛石基紫外探測(cè)器及其制作方法。背景技術(shù)隨著光學(xué)技術(shù)和微電子技術(shù)日新月異的發(fā)展，紫外探測(cè)技術(shù)在國(guó)民經(jīng)濟(jì)及國(guó)防建設(shè)諸多領(lǐng)域展現(xiàn)出不可替代的應(yīng)用價(jià)值，極具發(fā)展前景，已廣泛應(yīng)用于輻射檢測(cè)、消毒控制生物檢測(cè)等，檢測(cè)迅速、準(zhǔn)確，而且直觀清楚。另外，紫外探測(cè)技術(shù)在早期導(dǎo)彈預(yù)警、制導(dǎo)、通訊等軍事領(lǐng)域也有著十分重要的應(yīng)用。硅基探測(cè)器由于硅材料為間接帶隙、禁帶寬度小(室溫下約1.1eV)、本征載流子濃度高、耐化學(xué)腐蝕性能差、抗輻射能力差等特點(diǎn)，限制了其在紫外探測(cè)方面、高溫以及惡...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。