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一種醫(yī)用加速器波導的自動排氣補氣裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:12023341

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本實用新型屬于醫(yī)療和工業(yè)輻照應用的電子直線加速器技術領域,具體涉及一種醫(yī)用加速器波導內氣體的自動排氣補氣裝置。背景技術在中高能醫(yī)用電子直線加速器應用中,需要通過波導將微波源功率傳輸?shù)郊铀俟苤?,加速管是處于高真空狀態(tài)下的,為了防止充氣波導系統(tǒng)內發(fā)生高頻打火特別是在波導與輸入窗的連接處,我們需要在波導內充入介質氣體且充氣壓力要維持在規(guī)定的范圍內。正常充氣波導內使用六氟化硫氣體,為了確保微波器件內有足夠壓力的六氟化硫氣體,需要對波導內部氣體壓力進行實時監(jiān)測,要保證微波器件內部氣壓既不會超出微波器件所能...
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