技術(shù)編號：12020919
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及集成電路制造和自動化領(lǐng)域，具體來說，涉及一種自動尋找晶圓圓心的裝置。背景技術(shù)集成電路生產(chǎn)對設備、原材料以及生產(chǎn)環(huán)境的要求十分苛刻。晶圓生產(chǎn)過程要求高潔凈度、高穩(wěn)定度、高可靠性。為了提高生產(chǎn)效率，在生產(chǎn)線上(例如8英寸、12英寸晶圓設備)已經(jīng)采用自動化晶圓傳輸系統(tǒng)來代替人工來對晶圓進行傳輸。晶圓傳輸系統(tǒng)是指集成電路生產(chǎn)工廠在高潔凈度環(huán)境下對晶圓進行分類的傳送設備，屬于半導體設備高端制造業(yè)。晶圓傳輸系統(tǒng)的核心在于如何使機械手準確、安全的對晶圓執(zhí)行取送操作。這需要一套安全、有效的裝置來保...
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