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基于高精度同步多測尺的半導(dǎo)體激光測距裝置與方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12014974

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本發(fā)明屬于相位激光測量技術(shù),主要涉及一種相位激光測距裝置與方法。背景技術(shù)大尺寸測量在發(fā)展大型精密機(jī)械制造、重大科技工程、航空航天工業(yè)、船舶工業(yè)和微電子裝備業(yè)等大型光機(jī)電一體化裝備加工制造中備受關(guān)注,其中幾米至幾百米范圍的大尺寸測量是航空航天器及巨型船舶中的大型零部件加工和整體裝配的重要基礎(chǔ),其測量方法與設(shè)備性能的優(yōu)劣直接影響工件質(zhì)量及裝配精度,進(jìn)而影響整套裝備的運行質(zhì)量、性能及壽命。多測尺相位測距方法利用一組從大到小的測尺波長對被測距離進(jìn)行逐級精化測量,解決了測量范圍和測量精度之間的相互矛盾,能...
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