技術(shù)編號：11990232
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及到單晶硅片生產(chǎn)中的硅圓拋光清洗，具體的說是一種硅片清洗后跨區(qū)域傳遞窗。背景技術(shù)硅片清洗是硅圓制造業(yè)中的重要部分，是保證硅片表面潔凈度的重要手段?，F(xiàn)在硅圓制造過程中，清洗工序多達幾十道。這些清洗工序貫穿整個生產(chǎn)流程，往往處于不同的廠房或不同的潔凈區(qū)域。連續(xù)清洗時，出料方式往往為濕法出料。目前普便使用水箱作為洗出的帶水硅片的傳遞與存放器具。水箱材質(zhì)多為PP，內(nèi)盛放能沒過硅片的純水，一定時間后更換水箱內(nèi)純水來確保水箱內(nèi)水的潔凈度。在不同區(qū)域流轉(zhuǎn)時，往往是通過將水箱放入傳遞窗內(nèi)完成傳遞過程...
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