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分段雙溝槽高壓屏蔽的橫向絕緣柵雙極器件的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11956103

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本發(fā)明主要涉及功率集成電路技術(shù)領(lǐng)域,具體來(lái)說(shuō),特別適用于開(kāi)關(guān)電源、馬達(dá)控制、汽車(chē)電子系統(tǒng)、家用電器等諸多功率控制處理領(lǐng)域。背景技術(shù)高壓功率集成技術(shù)是VLSI與功率器件結(jié)合的產(chǎn)物。隨著高壓功率集成技術(shù)的發(fā)展,在同一芯片上集成有低壓控制電路和高壓功率元件的高壓集成電路使電子系統(tǒng)所要求的電子元件數(shù)目極大的降低,從而降低系統(tǒng)成本,減小了設(shè)備尺寸,提高了系統(tǒng)可靠性。高壓集成電路的應(yīng)用廣泛,涵蓋電子照明、電機(jī)驅(qū)動(dòng)、電源管理、工業(yè)控制以及顯示驅(qū)動(dòng)等眾多領(lǐng)域。作為功率集成電路中的核心,功率器件所承受的工作電壓越...
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